تغير المضخة الفراغ حجم غرفة المضخة أو تنقل زخم الغاز من خلال الوسائل الميكانيكية أو المادية لتشكيل فرق الضغط لتحقيق شفط الغاز وتفريغه ، وبالتالي خلق بيئة فراغ.
يتم تقسيم مبدأ العمل لمضخة الفراغ بشكل أساسي إلى فئتين: نوع الصوت المتغير ونوع نقل الزخم. المبادئ المحددة وأنواع المضخات النموذجية هي كما يلي:
1. مضخة فراغ حجم متغير
يتم تحقيق الشفط والضغط والعادم عن طريق تغيير حجم غرفة المضخة بشكل دوري. النواة هو تغيير المساحة المغلقة الناجمة عن الحركة الميكانيكية:
Water Ring Pump مضخة
المبدأ: يدور الدوار غريب الأطوار لرمي سائل العمل (مثل الماء) إلى غلاف المضخة لتشكيل حلقة سائلة ، ويتم تشكيل مساحة حجم متغير على شكل هلال بين الحلقة السائلة والشفرات. يتم امتصاص الغاز من جانب التمدد وخرجه بعد ضغطه مع انخفاض حجم.
الميزات: ضغط متساوي الحرارة ، مناسب للغازات القابلة للاشتعال أو المتفجرة أو المتربة ؛ درجة الفراغ النهائي منخفض (2000 ~ 4000Pa).
Vane Vane\/Sliding Valve pump ump
المبدأ: يؤدي الدوران غريب الأطوار للدوار إلى قيادة Vane أو الصمام المنزلق إلى الانزلاق ، وتقسيم غرفة المضخة إلى غرف حجم متغيرة ، واستكمال انتقال الغاز من خلال تغييرات الحجم.
الميزات: يمكن أن يقلل تصميم ختم الزيت من التسرب ، ولكنه قد يلوث الغاز ؛ المتغيرات الجافة (مثل مضخات المسمار) خالية من الزيت.
مضخة فراغ الجذور
المبدأ: تدور الدوارات المزدوجة بشكل متزامن في اتجاهين متعاكسين ، ويتم تشكيل انتقال الغاز من خلال ختم الفجوة. يجب استخدامه مع مضخة أمامية لتحسين درجة الفراغ.
2. مضخة فراغ نقل الزخم
الاعتماد على الأجزاء عالية السرعة أو الأجزاء الميكانيكية لنقل الزخم ودفع تدفق الغاز مباشرة:
pump steam pump
المبدأ: يتدفق البخار عالي السرعة عبر فوهة لافال لتوليد منطقة منخفضة الضغط ، مما يؤدي إلى خلط الغاز المضخش ثم يخلطه من خلال الناشر.
التطبيق: مناسبة لسيناريوهات منخفضة التدفق المنخفض ، مثل التبخر الكيميائي.
المضخة الجزيئية ومضخة الانتشار
المبدأ: تنقل الشفرات الدوارة عالية السرعة أو طائرات البخار زخمًا إلى جزيئات الغاز ، وتفريغها بطريقة اتجاهية لتشكيل فراغ مرتفع (حتى 10 درجة مئوية أو أقل).
3. التصنيفات والمكملات الغذائية الأخرى
التصنيف بواسطة درجة الفراغ : فراغ منخفض (مثل مضخة الحلقة السائلة) ، فراغ متوسطة (مضخة الجذور) ، فراغ عالي (مضخة الانتشار).
التصميم الخاص : على سبيل المثال ، تحافظ مضخة فراغ المياه المتداولة على استقرار حلقة الماء عن طريق تجديد الماء البارد بشكل مستمر لتحقيق بدء وتوقف تلقائي.
summary : يجب أن ينظر اختيار مضخات الفراغ بشكل شامل لخصائص الغاز ودرجة الفراغ المستهدفة والمتطلبات البيئية. مضخات الإزاحة المتغيرة مناسبة للفراغ الخشن ، ومضخات نقل الزخم مناسبة لسيناريوهات الفراغ العالية.
